ООО «СИДМЭЛ»

СИДМЭЛ SAME200

  • Установка микроволнового плазмохимического травления для удаления пластиковых корпусов для НИОКР-лабораторий, опытных и мелкосерийных производств
  • Назначение: плазмохимическое травление диэлектриков (оксид кремния) и различных полимеров (резистов, полиимидов, эпоксидных смол) и т.д.
  • Размеры камеры: ? 200 ? 120 мм
  • Максимальные размеры образца: ?160 ? 80 мм
  • Область травления (по центру): 15 ? 15 мм
  • Тип загрузки: открытая
  • Генератор возбуждения плазмы: (2,4?2,5) ГГц, (0?200) Вт
  • Скорость травления: от 10 мкм/мин